周四盘后短讯，光刻机概念报涨，中环股份（44.96，9.927%）领涨，北方华创(4.854%)、芯源微(4.707%)、胜利精密(3.401%)、光华科技(3.125%)等跟涨。光刻机上市公司有：

(资料图片)

1、中环股份：

从近五年ROE来看，近五年ROE均值为5.69%，过去五年ROE最低为2016年的3.87%，最高为2020年的7.55%。

2、北方华创：

从近五年ROE来看，近五年ROE均值为6.16%，最高为2020年的8.51%。

芯片产业链卖铲人，半导体设备国内第一，能够提供除光刻机以外的所有设备，国内唯一一家具有8英寸立式扩散炉和清洗设备生产能力的公司，自主研发14nm等离子硅刻蚀机。前身是七星电子。除了半导体设备，也包括真空设备业务（光伏）、电子元器件业务。

3、芯源微：

从近五年ROE来看，近五年ROE均值为10.59%，过去五年ROE最低为2016年的3.43%，最高为2017年的15.91%。

作为与光刻机配合进行作业的关键处理设备，公司生产的涂胶/显影机成功打破国外厂商垄断并填补国内空白，其中在LED芯片制造及集成电路制造后道先进封装等环节，作为国内厂商主流机型已成功实现进口替代；通过多年的技术研发、实践应用积累以及持续承担国家02重大专项，公司成功突破了应用于集成电路制造前道晶圆加工环节的涂胶显影设备技术，成型产品目前正在长江存储、上海华力等前道芯片制造厂商进行工艺验证。

4、胜利精密：

从近五年ROE来看，近五年ROE均值为-10.2%，过去五年ROE最低为2019年的-53.67%，最高为2020年的8.87%。

公司参股的科华微电子是国内拥有并正常使用荷兰ASML光刻机的光刻胶公司。

5、光华科技：

从近五年ROE来看，近五年ROE均值为6.78%，过去五年ROE最低为2019年的1.07%，最高为2018年的11.69%。

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